SuperViewW1白光干涉儀檢測儀器由照明光源系統(tǒng),，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成,。是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一,。它以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能,；

4）分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

主要應(yīng)用領(lǐng)域

1、用于太陽能電池測量,；

2,、用于半導(dǎo)體晶圓測量；

3,、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量,；

4、用于機(jī)械部件的計量,；

5,、用于塑料，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量,。

SuperViewW1白光干涉儀檢測儀器非接觸高精密測量,，不會劃傷甚至破壞工件，在微電子,、微機(jī)械,、微光學(xué)等領(lǐng)域，可以提供更高精度的檢測需求,。